油壓機往復式真空泵的工作原理

油壓機往復式真空泵的工作原理

借助泵腔內活塞往復運動，將氣體壓縮并排出的變容積真空泵即為往復式真空泵。往 復式真空泵是獲得粗真空的主要設備。極限真空度:單級可達400-1333Pa，雙級可達 1 333Pa，抽氣速率為45-20000m3/h。
往復式真空泵的工作原理與往復泵類似，但由于它的工作介質是氣體，在活塞運行到 外止點時，應盡量將汽缸內的氣體排凈，以免剩余氣體過多而造成活塞向內運動吸氣時這 部分氣體膨脹而減少吸氣量。同時，它的進氣閥和排氣閥的結構與往復泵進液閥和排液閥 的結構也不同。圖4-47所示為具有平面滑閥配氣機構的往復式真空泵。套在主軸上的偏 心輪2旋轉時，帶動操縱桿3作往復運動，從而帶動滑閥配氣機構1中的平面滑閥，使其
往復式真空泵的結構特點是具有平面滑閥配氣機構，此機構能起到壓力平衡作用。排 氣壓力與進氣壓力的比值稱為壓力比。如果要得到95%的真空度(絕對壓力為 111 99 5. 066kPa)，排氣壓力為111 99kPa。此時壓力比高達ε=一一-一=22，在這樣高的壓力 5.006 比的情況下，其容積系數便會降得很低，以至使抽氣速率降到接近于零。因此，必須在結 構上采取提高容積系數的措施。這個措施一般 是采用壓力平衡的方法。 為平面滑閥式配氣機構。可使 運轉中的真空泵能同時起壓力平衡作用。閥室 的上部為吸氣接管，與閥座上的吸氣口連通， 彈花機閥室下部為排氣口。平面滑閥借助于操縱桿作 往復運動。當滑閥向左移動時，汽缸的左腔依靠 滑閥平面上的凹坑與吸氣口連通吸氣。汽缸右 圖4-48往復真空泵滑閥配氣機構
室閥而進入閥室的排氣口中排出。當滑閥返行時， 左腔內的氣體則通過滑閥上面左邊的排氣閥而 排出。在滑閥上還開有一倒"n"形氣道，它是用來平衡余隙空間內的壓力的。由于偏心 輪與主軸的偏角為90° ，即當活塞移至止點時，平面滑閥正位于中間位置。余隙空間內的 氣體便通過此"n"形氣道而流入活塞另一側的工作室內，從而平衡活塞止點兩側的壓 力，提高了泵的容積系數。
往復式真空泵是干式真空泵，適用于抽吸不含固體顆粒的、元腐蝕性的氣體，但 結構復雜，維修量大。近年來有的廠家己對其有所改進